半导体OHT天车洁净轮
产品概述
半导体工厂不同功能区域的洁净等级、负载工况、运行速度差异显著,对包胶轮的性能侧重各不相同。我司可根据现场工况提供针对性产品配置,覆盖从核心工艺区到辅助搬运区的全场景行走需求。
1、核心工艺区:OHT/OHCV 天车系统方案 针对 ISO Class 1~3 级高洁净晶圆生产区,配套 OHT/OHCV 天车专用洁净走行轮。产品以低发尘、防静电、高精度为核心,适配 3~5m/s 高速往复作业,低振动、低生热,满足 24 小时不间断生产需求,保障晶圆转运的稳定与洁净。
2、重载搬运区:洁净 Crane 天车方案 针对 ISO Class 5~7 级洁净辅助区,配套洁净 Crane 走行车轮。产品采用高强度不锈钢 / 铝合金轮芯搭配高耐磨洁净胶层,单轮可承载数吨至数十吨载荷,低速重载下不掉屑、不析锈,适配光刻机搬入、大宗物料吊装等重载起重场景。
3、辅助物流区:洁净 AGV / 穿梭车方案 针对库房、中转区等一般洁净场景,配套洁净级 AGV 包胶轮、穿梭车轮。平衡洁净性能与承载耐磨需求,性价比优异,可全面适配厂内辅助自动化物流设备。